Pengaruh Variasi Waktu Pelapisan WN Menggunakan Teknik DC Reaktive Magnetron Sputtering Terhadap Sifat Mekanis dan Laju Korosi Pada Baja AISI 410

  • Tito Endramawan Jurusan Teknik Mesin, Politeknik Indramayu
  • Viktor Malau Jurusan Teknik Mesin dan Industri, Fakultas Teknik, Universitas Gadjah Mada
  • Gaguk Jatisukamto Jurusan Teknik Mesin dan Industri, Fakultas Teknik, Universitas Gadjah Mada
  • Tjipto Sujitno Pusat Teknologi Akselerator dan Proses Bahan BATAN Yogyakarta
Keywords: DC Magnetron Sputtering, WN, AISI 410.

Abstract

Tujuan penelitian ini adalah untuk mengetahui pengaruh pelapisan WN yang diperoleh dengan teknik DCreaktif magnetron sputtering terhadap sifat mekanis dan korosi pada baja tahan karat AISI 410. Penelitian inimenggunakan bahan pelapis tungsten dengan kemurnian 99,95%. Proses pelapisan menggunakan DCmagnetron sputtering dengan variabel tetap berupa tegangan 0,4 kV, kuat arus 80 mA, rasio Ar:N2 =11:2,tekanan chamber 4.10-2 torr, serta jarak antara substrat-spesimen 15 mm. Variabel yang berubah berupa variasiwaktu yaitu 20, 30, 40, 50 dan 60 menit. Uji kekerasan menggunakan mikro-vickers, uji kekasaran menggunakansurface roughness measuring instrument, uji keausan menggunakan ogoshi high speed universal wear testingmachine dan uji korosi dengan metode galvanostat. Hasil penelitian menunjukan waktu pelapisan optimumselama 40 menit. Nilai kekerasan mengalami peningkatan 51,57% dengan nilai kekerasan tertinggi 283,28 VHN.Nilai kekasaran yang terendah dicapai pada proses pelapisan selama 40 menit yaitu 0,093 μm. Nilai keausanabrasif menurun 15,49% dari logam yang tidak dilakukan proses pelapisan. Ketahanan korosi mengalamipeningkatan 28,7% selama 50 menit dengan nilai korosi terendah 1,59 mmpy.

Downloads

Download data is not yet available.
Published
2012-07-11